化学吸附仪

真空控制系统

2022-01-23 11:00:08

用途:用于实验腔体的真空度自动控制,实现测试过程中真空的程序定向控制。

控制范围:真空泵极限真空-100000pa

控制精度:<1000pa  ±1pa

                 >1000pa    0.1%

泄漏率:5*10-9Pa.m3/S.He以下

控制速度:5min以内完成

程序步数:30步,随意设置。

真空计:英福康真空计 0-50torr  0-1000

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